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鏈條鉸接環(huán)片:SUS304 不銹鋼
耐水汽、酸堿、有機(jī)溶劑腐蝕,半導(dǎo)體酸堿揮發(fā)環(huán)境、制藥潔凈真空工況不易銹蝕;金屬致密無(wú)孔隙,高真空下材質(zhì)放氣率極低,不會(huì)析出雜質(zhì)污染腔體真空度,適配超高真空除氣烘烤。
法蘭壓緊墊塊:航空鋁合金材質(zhì)
自重輕量化,質(zhì)地韌性適中,壓緊時(shí)柔性緩沖,杜絕硬鋼卡箍壓傷 NW 法蘭密封唇邊、法蘭變形;鋁塊導(dǎo)熱性能優(yōu)異,腔體高溫烘烤(150~180℃除氣)時(shí)熱量均勻傳導(dǎo),密封圈受熱形變一致,密封穩(wěn)定性更強(qiáng)。
4 點(diǎn)位分體均壓結(jié)構(gòu)
NW80 規(guī)格由 4 個(gè)獨(dú)立鋁壓塊 + 不銹鋼鉸接鏈條圍成整環(huán),區(qū)別普通整圈一體式卡箍,鎖緊時(shí) 4 個(gè)壓塊同步貼合法蘭端面,整圈密封圈受力均勻無(wú)局部高壓 / 懸空,從根源避免單點(diǎn)壓緊不足產(chǎn)生漏率超標(biāo),超高真空漏率可穩(wěn)定至 1×10??Pa。
開口鏈條鉸接設(shè)計(jì)
卡箍為活口鏈條結(jié)構(gòu),拆裝無(wú)需拆卸前后真空管路,直接掰開卡箍環(huán)即可套入對(duì)接法蘭,單人快速拆裝;鏈條鉸接自帶微量同軸補(bǔ)償,法蘭存在≤1.5mm 微小偏心錯(cuò)位時(shí),仍能自動(dòng)微調(diào)找平密封面,法蘭安裝容錯(cuò)率遠(yuǎn)高于普通單耳卡箍。
鎖緊絲桿組件升級(jí)
CS 后綴 = 加強(qiáng)防松結(jié)構(gòu),絲桿螺紋精密滾牙加工、表面鍍硬鉻防銹,配套防松自鎖螺母;設(shè)備連續(xù)震動(dòng)(鍍膜機(jī)、真空泵啟停震動(dòng))工況下,螺母不易自發(fā)松脫,杜絕長(zhǎng)期運(yùn)行真空緩慢泄漏。
絲桿導(dǎo)向限位優(yōu)化
改良絲桿底座限位結(jié)構(gòu),收緊過(guò)程絲桿不會(huì)偏移跑偏,鎖緊行程可控,避免過(guò)度壓緊擠壞氟橡膠 / 全氟密封圈。
使用溫度區(qū)間
常態(tài)工作:-70℃~+150℃;短時(shí)腔體烘烤除氣最高耐受 180℃,適配半導(dǎo)體腔體高溫除氣、凍干機(jī)滅菌烘烤工況,高低溫循環(huán)后鋁 / 鋼復(fù)合結(jié)構(gòu)無(wú)熱脹冷縮開裂、密封失效。
密封適配性
嚴(yán)格遵循 ISO 標(biāo)準(zhǔn) NW/KF 法蘭尺寸,完美匹配 NW80 配套 FKM 氟橡膠、FFKM 全氟密封圈,全氟密封圈工況(特種腐蝕氣體、高溫真空)同樣適配,是超高真空、腐蝕性工藝管路專用選型。
負(fù)壓耐受
從常壓到超高真空全負(fù)壓區(qū)間結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,卡箍環(huán)不會(huì)受大氣壓力形變鼓脹,滿足實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)量產(chǎn)級(jí)真空設(shè)備長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。
潔凈度達(dá)標(biāo)
原廠精密拋光加工,無(wú)毛刺鐵屑,潔凈車間、半導(dǎo)體芯片制程、生物制藥無(wú)菌真空管路可直接使用,無(wú)微粒脫落污染工藝腔體。
通用互換性
尺寸對(duì)標(biāo)全球通用 NW (KF80) 法蘭標(biāo)準(zhǔn),可直接替換德國(guó)、國(guó)產(chǎn)同規(guī)格鏈?zhǔn)娇ü?,設(shè)備改造、備件替換通用性強(qiáng)。