日本 ADVANTEC 愛德萬泰克 ICF305-H 大口徑真空法蘭 注意事項（可直接復制）

一、安裝前準備與檢查注意事項

1. 規格匹配確認

• 核對法蘭型號為 ICF305-H，確認外徑 305mm、通孔型（H）結構，與對接法蘭、管路規格完全一致，嚴禁不同規格法蘭強行對接

• 確認法蘭材質為標準 SUS304L 或 SUS316L 低碳不銹鋼，與系統介質、環境腐蝕性匹配

• 檢查法蘭密封面刀口鋒利無損傷，無劃痕、凹坑、銹蝕等缺陷，這是超高真空密封的關鍵

• 測量法蘭平面度與垂直度，大口徑法蘭允許偏差≤1.5mm，確保安裝后密封面貼合均勻

2. 清潔處理規范

• 佩戴無塵手套操作，避免指紋、油污污染密封面

• 用異丙醇或無水乙醇擦拭密封面、螺栓孔及管道端面，去除油污、雜質與氧化層

• 禁止使用含氯清潔劑、鋼絲刷等可能損傷密封面或殘留雜質的工具

• 清潔后立即安裝，避免長時間暴露在空氣中導致二次污染

3. 配件準備與檢查

• 密封墊必須選用對應規格無氧銅密封墊，禁止使用橡膠、四氟等有機密封墊，確保超高真空與耐高溫性能

• 螺栓螺母選用同材質不銹鋼，規格匹配，螺紋完整無銹蝕、損傷

• 大口徑法蘭需準備足夠數量螺栓（通常 16-24 顆），避免少裝或錯裝

• 準備校準合格的扭矩扳手、對稱緊固工具，禁止使用普通扳手暴力操作

二、安裝過程操作注意事項

1. 系統安全準備

• 安裝前必須關閉真空泵電源，懸掛 “禁止合閘” 警示牌，防止誤啟動

• 緩慢釋放系統壓力至大氣壓，避免壓力差導致配件飛出或人員傷害

• 若系統內殘留有毒或易燃氣體，需通過通風系統徹底排出并檢測至安全范圍

• 高溫部件需冷卻至常溫后操作，佩戴隔熱手套防止燙傷

2. 法蘭對接與密封墊安裝

• 密封墊居中放置，避免偏移導致密封失效

• 確保兩法蘭外邊緣對齊，密封面平行，避免安裝應力集中

• 大口徑法蘭建議兩人以上協同操作，防止法蘭變形或密封墊移位

• 嚴禁在法蘭密封面間夾雜任何異物，確保密封面完全貼合

3. 螺栓緊固規范

• 遵循 “對稱、均勻、分次” 緊固原則，按對角順序分 3-4 次循環緊固

• 第一次預緊至目標扭矩的 30%，第二次至 70%，第三次至 100%，確保受力均勻

• 大口徑法蘭推薦扭矩值：M24 螺栓約 350N?m，M30 螺栓約 700N?m，以廠商手冊為準

• 螺栓螺紋可涂抹少量 MoS2 潤滑脂，防止高溫咬死，同時避免污染真空系統

• 嚴禁單邊一次性擰緊，防止法蘭翹曲、密封面損傷或墊片偏移

4. 安裝后檢查

• 檢查法蘭四周縫隙均勻，無明顯傾斜或間隙不均現象

• 確認所有螺栓緊固到位，無遺漏或松動

• 安裝完成后進行泄漏測試，標準泄漏率應≤1.33×10?11 Pa?m3/s

• 首次抽真空后檢查密封性能，無泄漏方可投入使用

三、使用與運行注意事項

1. 真空系統操作規范

• 抽真空過程循序漸進，避免壓力驟變導致法蘭受力不均

• 烘烤必須在抽真空狀態下進行，最高溫度不超過 450℃，避免密封件氧化降解

• 大口徑法蘭系統建議分段烘烤，防止溫度分布不均導致法蘭變形

• 系統運行中定期監測真空度，異常下降時及時排查泄漏點

2. 溫度與壓力控制

• 避免系統溫度急劇變化，熱脹冷縮可能導致密封失效

• 高溫工況下，首次運行 24 小時后進行熱緊，溫度循環后再次檢查緊固狀態

• 嚴禁超壓運行，大口徑法蘭建議安裝安全閥或爆破片，防止過壓風險

• 振動較大的系統每月檢查一次螺栓緊固狀態，正常工況每 6-12 個月檢查一次

3. 特殊工況應對

• 腐蝕性介質環境必須選用 SUS316L 材質法蘭，定期檢查密封面腐蝕情況

• 半導體等高潔凈度場景，避免使用含硫、氯等污染物的潤滑材料

• 頻繁開關的系統，縮短密封墊更換周期，防止墊片疲勞失效

• 大口徑法蘭系統建議安裝支撐架，減少管道自重對法蘭的應力影響

四、維護與保養注意事項

1. 定期檢查與維護

• 每次拆卸后檢查密封面刀口鋒利度，若出現鈍化或損傷，及時修復或更換法蘭

• 密封墊為一次性用品，拆卸后必須更換新墊，禁止重復使用

• 螺栓螺母定期檢查，出現銹蝕或螺紋損傷時及時更換，避免緊固失效

• 長期停用的系統，建議在法蘭密封面涂抹防銹油，防止氧化銹蝕

2. 拆卸操作規范

• 拆卸前必須徹底泄壓至大氣壓，嚴禁帶壓操作

• 按對角順序逐步松開螺栓，避免法蘭突然彈開造成傷害

• 大口徑法蘭拆卸時需用支撐工具固定，防止法蘭墜落或管道變形

• 拆卸后及時清潔密封面，用防塵蓋保護，避免污染

3. 故障處理注意事項

• 出現泄漏時，先確認螺栓緊固狀態，必要時按規范重新緊固

• 多次緊固仍泄漏時，檢查密封面是否損傷或密封墊是否安裝正確

• 法蘭變形或密封面嚴重損傷時，禁止修復使用，必須更換新法蘭

• 處理泄漏時，避免使用明火檢測，建議采用氦質譜檢漏儀等專業設備

五、安全操作注意事項

1. 個人防護要求

• 操作時佩戴防護手套、護目鏡、防滑鞋，防止金屬碎屑劃傷或法蘭組件滑脫

• 高風險環境下額外配備呼吸防護設備，防止有毒氣體傷害

• 高溫操作時佩戴隔熱手套，避免燙傷

2. 工具使用規范

• 使用專用工具，禁止使用非專用工具或超負荷施力，防止法蘭或螺栓損壞

• 扭矩扳手定期校準，確保緊固扭矩準確

• 易燃易爆環境中使用防爆工具（如銅制扳手），并配備滅火器材

3. 廢棄物處理

• 更換下的密封墊、螺栓等廢棄物按環保要求分類回收

• 含油或污染的清潔材料單獨處理，避免環境污染

4. 其他安全要點

• 維護前切斷電源并掛牌上鎖，防止誤啟動

• 大口徑法蘭安裝區域設置警示標識，禁止無關人員靠近

• 所有操作必須由經過專業培訓的人員進行，嚴禁無證操作

六、特殊場景專項注意事項

1. 半導體 / 高潔凈度應用

• 法蘭必須經過電解拋光處理，表面低吸附、無雜質析出

• 安裝環境為無塵車間，操作時佩戴無塵服、無塵手套

• 密封墊選用高純度無氧銅，避免雜質污染工藝環境

2. 強腐蝕介質環境

• 優先選用 SUS316L 材質版本，強化耐腐蝕能力

• 定期檢查法蘭表面腐蝕情況，縮短維護周期

• 避免使用含氯、含硫的清潔劑或潤滑材料

3. 大口徑法蘭特殊要求

• 運輸與存儲時避免重壓，防止法蘭變形

• 安裝時確保支撐結構穩固，分散法蘭受力

• 建議使用法蘭定心工具，保證安裝同軸度